Sua origem é provavelmente a letra fenícia he que representava mais ou menos o som de um H aspirado. Quando os gregos adotaram o alfabeto fenício, encontraram dificuldade em pronunciar a primeira parte desse caractere e o abandonaram conservando somente o som de e e dando lhe o nome de epsílon, com o tempo simplificaram seu desenho virando os traços horizontais para o lado direito.